蔡司氦离子显微镜（HIM）ORION NanoFab
产品名称： 蔡司氦离子显微镜（HIM）ORION NanoFab
英文名称：
产品编号： ORION NanoFab
产品价格： 0
产品产地： 德国
品牌商标： ZEISS
更新时间： null
使用范围： null
卡尔蔡司（上海）管理有限公司
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蔡司氦离子显微镜ORION NanoFab可以实现高效、高精度的纳米级结构加工与成像，是集镓、氖、氦三种离子束为一体的成像加工平台，覆盖了微米到纳米尺度的成像加工应用。0.5nm的成像分辨率，使得其作为加工仪器的同时依然也可实现高分辨率成像。电荷补偿技术令其在不导电样品成像中更胜一筹。其高精度加工与高分辨率成像能力能够满足材料科学、生命科学等各个领域的研发与检测需求。
[ 产品特点 ]
1. 10nm以下的结构加工
2. 使用氦、氖惰性气体作为离子源避免镓离子注入
3. 束斑尺寸小，成像分辨率可达0.5 nm
4. 景深大
[ 应用领域 ]
1. 光子学，如光刻，表面等离子体光学
2. 材料科学，如离子束诱导沉积
3. 石油地质行业，如油气、页岩成像
4. 电子半导体行业，如失效分析、电路修补
5. 生命科学，如DNA测序
