离子溅射镀膜仪EMS150 R
产品名称： 离子溅射镀膜仪EMS150 R
英文名称：
产品编号： EMS150 R
产品价格： 0
产品产地： 美国
品牌商标： EMS
更新时间： null
使用范围： null
深圳市泽任科技有限公司
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| 溅射气体： |
氩气 |
样品台尺寸： |
Dia57mm |
| 控制方式： |
自动 |
样品仓尺寸： |
Dia150mm |
| 靶材尺寸： |
Dia57mm |
靶材材质： |
金。银，铬 |
| 价格区间： |
10万-30万 |
仪器种类： |
进口离子溅射仪 |
产品参数：
仪器尺寸 | 585mm(W) x 470mm(D) x 410mm(H) |
包装尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg) |
工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃152mm (内直径)x 127mm H |
安全钟罩 | 聚乙烯对苯二酸，柱形 |
显示屏 | 彩色液晶320 x 240 |
用户界面 | 直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及最后十个镀膜方案日志记录 |
重量 | 28.4Kg |
样品台 | 直径为50 mm的旋转样品台，上有6个样品座，可配15mm, 10mm, 6.5mm或者3.1mm样本座，转速为8-20rpm |
真空泵 | Edwards RV3 50L/s两级真空泵，Pirani 真空计 |
极限真空度 | 洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气 |
喷镀真空范围 | 3 x 10-2 -5 x 10-1mbar |
安培计 | 碳绳：0-60 Amps，1.4mm Ø碳棒：1-90 Amps |
提供3个版本的仪器：
EMS150R S –
喷金仪/离子溅射仪（适用于真空喷镀非氧化型金属，如金，铂，钯等）
EMS150R E –
喷碳仪/碳蒸镀仪（适用于真空喷镀碳膜，特别适用于SEM）
EMS150R ES
–真空镀膜仪（离子溅射仪和碳蒸镀仪的结合体）