快速定量阴极荧光 CL-SEM系统 Allalin
Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器,基于一种被称为定量阴极荧光的突破性技术,它将光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场/快速扫描同时获得扫描电镜成像 与高光谱或全色CL图。
皮秒时间分辨阴极荧光 CL-SEM系统 Chronos
Chronos是为需要获得纳米空间和皮秒时间分辨率的动态光谱信息的研究人员而设计的。Chronos配备了一套全\面的超\快探测器,可覆盖紫外到红外的波长范围,并为用户的应用优化性能。Chronos的多功能设计也使其能够执行诸如泵浦/探针光谱和动态等
全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统 Santis 300
Attolight定量CL-SEM系统提供“不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显
高级型脉冲激光沉积系统 Pioneer 120 Advanced PLD
这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘,带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。