美国IST Repellix 表面改性设备北京哲勤科技有限公司

性能参数

产品名称: 美国IST Repellix 表面改性设备
产品型号: RPX-210/RPX-540/RPX-560
产品规格: 台
产品产地: 美国
品牌商标: IST PVA-IST
价    格: 80万美金元
更新时间: 2021/2/21 17:50:58
浏览人数:48
诚信指数:5点
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使用范围:仅限科研使用,不能应用于临床
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北京哲勤科技有限公司
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周生
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产品详细描述

美国IST(Integrated Surface Technologies)-表面改性设备

 

典型应用:

表面改性

DNA微阵列

生物兼容性改性

亲水 μ流体薄膜

疏水保护薄膜

提高表面粘附性

无机氧化物原子沉积

MEMS抗粘合层

半导体制造和封装涂层

控制:

PC精密控制,形成单分子层,可设置连续或交替进行。

灵活的控制系统,允许自行设计工艺,形成特色纳米结构。

同一设备更换不同单体可完成不同工艺。

 

优势:

灵活的工艺步骤

自然沉积,均匀性极高

重复性好

低成本

适用大批量生产

配置:

腔体大小:317.5×243.84×254 mm

运行真空度:10 torr(100℃)

腔室温度:85℃

设备大小:1016×965.2×914.4 mm

回充气体:N2 或CDA (5.5 bar)

PC控制

多达32,000可编程步骤


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