扫描电镜原位技术已经广泛应用于材料科学研究的各个领域，它可以将材料宏观性能与微观结构联系起来，这对研发高性能新型材料非常有帮助。但电镜原位实验从来都不是一个简单的工作，有的时候甚至还需要一些运气。

为了让电镜原位实验变得更加智能高效，蔡司最新推出了扫描电镜原位解决方案。今天就让我们一起看看，蔡司这套原位解决方案拥有哪些黑科技吧！

l  高度集成化：告别手忙脚乱

蔡司扫描电镜原位解决方案将扫描电镜、原位样品台、EBSD和EDS控制软件深度整合，在单台PC的一个软件中就可以控制所有硬件，实现成像、分析以及原位样品台参数设定的高度集成

开创性自动化实验流程：节省时间+解放双手

▲ 在原位拉伸过程中的不锈钢样品不同ROI的SE和BSE图像（AsB探测器），观察到滑移带形成。

蔡司原位电镜解决方案可实现自动化原位实验工作流程，集成化软件不仅可以自动控制样品台应力加载，还可以设定多个感兴趣区域（ROI），并对不同ROI进行自动追踪、自动聚焦、自动获取图像。不同ROI的成像参数可以独立设定，系统还可以识别样品断裂状态并自动终止实验。

从此原位实验将变得自动智能，减少人工操作时间，大幅提升测试效率，并且可实现长达24小时的无人值守自动化测试，这样就可以充分利用夜晚时间，使电镜利用率大大提升。

自动获取EBSD和EDS数据：获取样品全面信息

▲  800°C下加热17 小时的钢铁样品自动采集到一系列EBSD图像，展示了晶界和晶粒取向的变化。

该套新解决方案的处理软件不仅可以自动获取图像，还加入了EBSD和EDS自动获取功能，可追踪并获取样品同一位置的EBSD和EDS分析结果，全面分析材料变化过程。

数据获取和处理：高通量、高质量、高效率

▲  表面抛光的低碳钢样品 (S235JRC)。样品表面上的小颗粒用作 DIC（数字图像相关）的标记。SE 图像被导入 GOM关联软件进行 DIC 分析。图像中可以显示主要应变的幅度和方向。

自动化高效测试意味着可以得到大量实验数据，不放过样品每一个变化细节，获取具有统计意义的结果，而人工干预因素的减少也可以大大提升实验可重复性和数据可靠性。

当然，蔡司场发射扫描电镜GEMINI技术也是获取高质量、高分辨数据的强有力保证。该方案还配置有ZEISS-GOM关联软件，可对数据进行数字图像相关（DIC）处理，研究样品表面应变分布。